56-64

УДК 681.586
https://doi.org/10.25686/2306-2819.2022.1.56

Влияние напряжения смещения подложки в процессе реактивного магнетронного распыления на супергидрофильные свойства
плёнок TiO₂

Д. Е. Шашин^*, Н. И. Сушенцов, И. М. Будкина
Поволжский государственный технологический университет,
Российская Федерация, 424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3
ShashinDE@volgatech.net^*

АННОТАЦИЯ

Данная статья посвящена изучению влияния напряжения смещения подложки в процессе реактивного магнетронного распыления на супергидрофильные свойства плёнок TiO₂. Описано технологическое оборудование для формирования супергидрофильных плёнок TiO₂, а также сформирована серия плёнок при различных значениях напряжения на подложке. Приведены результаты исследования супергидрофильных свойств полученных плёнок. Разработаны технологические рекомендации по оптимальной величине напряжения смещения при формировании супергидрофильных плёнок TiO₂ методом реактивного магнетронного распыления.

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА

оксид титана; тонкие плёнки; магнетронное распыление; супергидрофильные свойства

ПОЛНЫЙ ТЕКСТ (PDF)

ФИНАНСИРОВАНИЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Zhou X., Yu S. Colorful nanostructured TiO₂film with superhydrophobic–superhydrophilic switchable wettability and anti-fouling property // Journal of Alloys and Compounds. 2019. Vol. 798. Pp. 257–266.
2. Léonard G.L., Remy S. Doping TiO2 films with carbon nanotubes to simultaneously optimise antistatic, photocatalytic and superhydrophilic properties // Journal of Sol-Gel Science and Technology. 2016. Vol.‏ 79. Pp. 413–425.
3. Jesus M.A.M.L., Neto J.T.S. Superhydrophilic self-cleaning surfaces based on TiO₂and TiO₂/SiO₂composite films for photovoltaic module cover glass //Applied Adhesion Science. 2015. Vol. 3. ‏ Pp. 244–249.
4. Shashin D.E., Sushentsov N.I. Mathematical model development for thin zinc oxide film formation with assigned dielectric constant values // IOP
Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series. 2019. Pp. 1–4.
5. Shashin D.E., Sushentsov N.I. Obtaining thin metal films and their compounds using magnetron sputtering and arc evaporation in a single technological cycle // IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series. 2021. Pp. 1–4.
6. Shashin D.E., Sushentsov N.I. Development of manufacturing technology of photo-dielectric sensitive element of ultraviolet range on the basis of thin films of zinc oxide // Herald of the Bauman Moscow State Technical University. Series Instrument Engineering. 2019. No 6(129). Pp. 99–109.
7. Talinungsang N.P., Purkayastha D.D. SnO2/TiO2 bilayer thin films exhibiting superhydrophilic properties // AIP Conference Proceedings. 2017. Vol. 1832. Pp. 35–80.
8. Vahl A., Veziroglu S. B. Pathways to Tailor Photocatalytic Performance of TiO₂ Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering // Materials. 2019. Vol.12. P. 2–18.
9. Masakazu A. Preparation, Characterization, and Reactivities of Highly Functional Titanium Oxide-Based Photocatalysts Able to Operate under UV–Visible Light Irradiation: Approaches in Realizing High Efficiency in the Use of Visible Light // Bull. Chem. Soc. Jpn. 2004. Vol. 77. Pp. 1427–1442.
10. Wong M.S. Reactively sputtered N-doped titanium oxide films as visible-light photocatalystv // Thin Solid Films. 2006. Vol. 494. ‏ Pp. 244–249.

Для цитирования: Шашин Д. Е., Сушенцов Н. И., Будкина И. М. Влияние напряжения смещения подложки в процессе реактивного магнетронного распыления на супергидрофильные свойства плёнок TiO₂// Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. 2022. № 1 (53). С. 56-64. DOI: https://doi.org/10.25686/2306-2819.2022.1.56