72-80

Научная статья
УДК 681.2
https://doi.org/10.25686/2306-2819.2022.3.72

Формирование методом магнетронного распыления
многокомпонентных многослойных покрытий на основе AlN
для применения в приборостроении

Д. Е. Шашин^*^, Н. И. Сушенцов, А. Д. Дьячков
Поволжский государственный технологический университет,
Российская Федерация, 424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3
ShashinDE@volgatech.net^*

АННОТАЦИЯ

В данной статье рассмотрена последовательность технологических операций при формировании многослойных многокомпонентных покрытий Ti_1–хAl_хN,
Zr_1–хAl_хN, Cr_1–хAl_хN методом реактивного магнетронного распыления для применения при упрочнении деталей информационно-измерительных приборов. Приведены основные технологические параметры процесса формирования покрытий. Для каждого образца многослойных покрытий получены значения микротвёрдости по Виккерсу, измеренные при различных значениях нагрузки на инденторе. Даны рекомендации по выбору последовательности чередования слоев Ti_1–хAl_хN, Zr_1–хAl_хN, Cr_1–хAl_хN при формировании многослойных упрочняющих покрытий.

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА

Ti_1–хAl_хN; Zr_1–хAl_хN; Cr_1–хAl_хN; многослойные покрытия; многокомпонентные покрытия; магнетронное распыление

ПОЛНЫЙ ТЕКСТ (PDF)

ФИНАНСИРОВАНИЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Sheng S.H., Zhang R.F., Veprek S. Phase stabilities and thermal decomposition in the Zr1-xAlxN system studied by ab initio calculation and thermodynamic modeling // Acta Materialia. 2008. Vol. 56. Pp. 968-976.
2. Thermal treatment effects on microstructure and mechanical properties of TiAlN thin films / A.E. Santana, A. Karimi, V.H. Derflinger et al. // Tribology Letters. 2004. Vol. 17. Nо. 4. Pp. 689-696.
3. Barshilia H.C., Yogesh K., Rajam K.S. Deposition of TiAlN coatings using reactive bipolar-pulsed direct current unbalanced magnetron sputtering // Vacuum. 2009. Vol. 12. № 4. Pp. 505-515.
4. Shashin D.E., Sushentsov N.I. Mathematical model development for thin zinc oxide film formation with assigned dielectric constant values // IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series. 2019. Pp. 1-4.
5. Shashin D.E., Sushentsov N.I. Obtaining thin metal films and their compounds using magnetron sputtering and arc evaporation in a single technological cycle // IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series. 2021. Pp. 1-4.
6. Сушенцов Н.И., Шашин Д.Е. Разработка методики формирования функциональных покрытий на основе комплексного нитрида титана и алюминия и исследования их свойств // Упрочняющие технологии и покрытия. 2017. № 3. С. 105 - 107.
7. Lee S., Estrin Y., De Cooman B.C. Constitutive modeling of the mechanical properties of V-added medium manganese TRIP steel // Metallurgical and Materials Transactions. 2013. Vol. 44. No. 7. Pp. 3136-3146.
8. Leban M.B., Tisu R. The effect of TiN inclusions and deformation-induced martensite on the corrosion properties of AISI 321 stainless steel // Eng. Fail. Anal. 2013. № 33. Pp. 430-438.
9. Yukhno T.P., Vvedenskij Y.V., Sentyurikhina L.N. Low temperature investigations on frictional behavior and wear resistance of solid lubricant coatings // Tribol. Intern. 2001. № 34. Pp. 293-298.
10. Sanjeev C., Pierre F. Formation of Solid Splats During Thermal Spray Deposition //J. of Therm. Spray Technol. 2009. Vol. 18 (2). Pp. 148-180.

Для цитирования: Шашин Д. Е., Сушенцов Н. И., Дьячков А. Д. Формирование методом магнетронного распыления многокомпонентных многослойных покрытий на основе AlN для применения в приборостроении // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. 2022. № 3 (55). С. 72-80. DOI: https://doi.org/10.25686/2306-2819.2022.3.72