76-87

УДК 681.586
DOI: https://doi.org/10.25686/2306-2819.2021.2.76

ТЕХНОЛОГИЯ ВОЗДЕЙСТВИЯ ПОТОКОМ БЫСТРЫХ
НЕЙТРАЛОВ НА ТОНКИЕ ПЛЁНКИ ZnO И ВАКУУМНЫЙ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ЕЁ РЕАЛИЗАЦИИ

Д. Е. Шашин, Н. И. Сушенцов, Е. В. Тришина
Поволжский государственный технологический университет,
Российская Федерация, 424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3
E-mail: ShashinDE@volgatech.net

АННОТАЦИЯ

Данная статья посвящена разработке технологии воздействия потоком нейтралов на тонкие плёнки ZnO. Описано технологическое оборудование и последовательность операций для реализации воздействия на тонкие плёнки ZnO потоком нейтралов. Разработан источник нейтралов новой оригинальной конструкции и определены его выходные характеристики. Изучено влияние потока нейтральных частиц на основные оптические характеристики тонких плёнок.

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА

нейтральный поток; тонкие плёнки; оксид цинка; магнетронное распыление; neutral beam; thin films; zinc oxide; magnetron sputtering.

ПОЛНЫЙ ТЕКСТ (pdf)

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Agarwal D. C., Singh U. B. Enhanced room temperature ferromagnetism and green photoluminescence in Cu doped ZnO thin film synthesized by neutral beam sputtering // Scientific Reports. 2019. Vol. 10. P. 1–12.
2. Mangasa Firman, Takeo Ohno, Seiji Samukawa. Neutral Oxygen Beam Treated ZnO-Based Resistive Switching Memory Device // Acs Applied Electronic Materials. 2019. Vol.‏ 1. P. 18–24.
3. Mingming Chen, Yuan Zhu, Anqi Chen. Optical investigations of Be doped ZnO films grown by molecular beam epitaxy // Materials Research Bulletin. 2016. Vol. 78. P. 16–19.
4. Shashin D.E., Sushentsov N.I. Mathematical model development for thin zinc oxide film formation with assigned dielectric constant values // IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series. 2019. P. 1–4.
5. Сушенцов Н.И., Шашин Д.Е. Разработка методики формирования функциональных покрытий на основе комплексного нитрида титана и алюминия и исследования их свойств // Упрочняющие технологии и покрытия. 2017. № 3.
С. 105–107.
6. Шашин Д.Е., Степанов С.А. Формирование и исследование тонкопленочных структур на основе оксида меди и оксида цинка, получаемых методом реактивного магнетронного распыления, для применения в солнечной энергетике // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. 2017. № 3 (35). С. 69–75.
7. Shashin D.E., Sushentsov N.I. Development of manufacturing technology of photo-dielectric sensitive element of ultraviolet range on the basis of thin films of zinc oxide // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер.: Приборостроение. 2019. № 6. С. 99–109.
8. Шашин Д.Е. Разработка математической модели, связывающей технологические параметры получения с комплексной диэлектрической проницаемостью тонких пленок оксида цинка, синтезированных методом магнетронного распыления // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. 2018. № 4 (40). С. 74–81.
9. Ye W., Fang K. Comparative study on structure and properties of ZnO thin films prepared by RF magnetron sputtering using pure metallic Zn target and ZnO ceramic target // Surface Engineering. 2020. Vol. 36. P. 49-54.
10. Zhang Ping, Wang Lijun. Enhancing Efficiency in Transparent Thin-Film ZnO/P₃HT Solar Cells by the Improved Crystalline Quality of ZnO // Physica status solid applications and materials science. 2021. Vol. 218. P. 1–5.

Для цитирования: Шашин Д. Е., Сушенцов Н. И., Тришина Е. В. Технология воздействия потоком быстрых нейтралов на тонкие плёнки ZnO и вакуумный технологический комплекс для её реализации // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. 2021. № 2 (50). С. 76-87. DOI: https://doi.org/10.25686/2306-2819.2021.2.76