64-71

УДК 621.383.8
DOI: https://doi.org/10.25686/2306-2819.2020.4.64

Исследование влияния толщины тонких плёнок различного состава, получаемых методом
магнетронного распыления, на их оптические спектры пропускания

А. Г. Козырев, А. В. Мороз, В. Е. Филимонов
Поволжский государственный технологический университет,
Российская Федерация, 424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3
E-mail: MorozAV@volgatech.net

АННОТАЦИЯ

В работе представлены измеренные оптические спектры пропускания плёнок графита, нитрида алюминия и оксида меди различной толщины, полученных методом магнетронного распыления. Показана зависимость оптического спектра пропускания плёнок графита от их толщины. Также приведены спектры пропускания комбинаций плёнок нитрида алюминия и оксида меди.

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА

спектр пропускания; тонкие плёнки; магнетронное распыление; графит; нитрид алюминия; оксид меди.

ПОЛНЫЙ ТЕКСТ (pdf)

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1.    Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л.: Машиностроение, 1973. 224 с.
2.    Фурман Ш.А. Тонкослойные оптические покрытия. Л.: Машиностроение, 1977. 264 с.
3.    Берлин Е.В., Сейдман Л.А. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. М.: Техносфера, 2014. 255 с.
4.    Кузьмичев А. И. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. Киев: Аверс, 2008. 244 с.
5.    Balamurugan B., Mehta B.R. Optical and structural properties of nanocrystalline copper oxide thin films prepared by activated reactive evaporation // Thin Solid Films. 2001. Vol. 396. № 1-2. P. 90-96.
6.    Электрические, оптические и механические свойства аморфного гидрогенизированного углерода, полученного при различных условиях осаждения / А.А. Бабаев, С.Б. Султанов, М.Ш. Абдулвагабов и др. // Физика и техника полупроводников. 2011. Т. 45. Вып. 1. С. 120-122.
7.    Свойства нитрида алюминия, полученного методом реактивного ионно-плазменного распыления/ Н.А. Берт, А.Д. Бондарев, В.В. Золотарев и др. // Физика и техника полупроводников. 2015. Т. 49. Вып. 10. С. 1429-1433.
8.    Особенности роста и структурно-спектроскопические исследования нанопрофилированных пленок AlN, выращенных на разориентированных подложках GaAs / П.В. Середин, Д.А. Голощапов, А.С. Леньшин и др. // Физика и техника полупроводников. 2016. Т. 50. Вып. 9. С. 1283-1294.
9.    Сушенцов Н. И. Установка магнетронного распыления [Электронный ресурс] // Институт физического материаловедения СО РАН. URL: http://ipms.bscnet.ru/conferenc/krnd_sem/pub_2009/Sushentsov.pdf. (Дата обращения: 12.07.2019).
Нанокристаллические и нанокомпозитные покрытия, структура, свойства / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, Н.А. Азаренков и др. // Физическая инженерия поверхности. 2007. Т. 5, № 1-2. С. 4–27.

Для цитирования: Козырев А. Г., Мороз А. В., Филимонов В. Е. Исследование влияния толщины тонких плёнок различного состава, получаемых методом магнетронного распыления, на их оптические спектры пропускания // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. 2020. № 4 (48). С. 64-71. DOI: https://doi.org/10.25686/2306-2819.2020.4.64