УДК 620.168.36
DOI: 10.15350/2306-2819.2016.2.84

Технологические особенности формирования
резистивных плёнок на основе нержавеющей стали

А. В. Мороз, Н. И. Сушенцов, С. А. Степанов, Е. В. Михеева, Е. А. Рыжова
Поволжский государственный технологический университет,
424000, Российская Федерация, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3
E-mail: MorozAndrey2405@mail.ru

АННОТАЦИЯ

Описана технология формирования резистивных плёнок на основе оксидов и нитридов элементов нержавеющей стали. Плёнки были сформированы методом реактивного импульсного магнетронного распыления мишени из нержавеющей стали. Приведены зависимости между удельным поверхностным сопротивлением температурным коэффициентом плёнок и содержанием реактивных газов в атмосфере аргона при их формировании.

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА

резистивные плёнки; магнетронное распыление; нержавеющая сталь; удельное поверхностное сопротивлени

ПОЛНЫЙ ТЕКСТ (pdf)

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1.     Дмитриев В. Д., Пиганов М. Н., Тюлевин С. В. Технология микросборок специального назначения; Минобрнауки России, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (нац. исслед. ун-т). – Электрон. текстовые и граф. дан. (1,2 Мбайт). Самара, 2012. 87 c.
2.     Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. М.: Техносфера, 2007. 176 с.
3.     Katnani A.D., Matienzo L. J., Emmi F. Effects of oxidation on the electrical resistance of cermet thin films // Journal of Materials Science Letters. 1989. No. 8. Pp. 1177-1178.
4.     Sujatha K., Uthanna S., Jayarama P. Reddy Electrical properties of co-evaporated Bi-SiO cermet films // Journal of Materials Science Letters. 1989. No. 8 Pp. 75-76.
5.     Katumba G., Olumekor l. Effects of thickness and composition on the resistivity of Cu-MgF2 cermet thin film resistors // Journal of Materials Science. 2000. No. 35 Pp. 2557–2559.
6.     Хижняк В.Г., Погребова И.С., Лоскутова Т.В. и др. Коррозионная стойкость хромоалитированной стали 12Х18Н10Т // Научные вести НТУУ «КПИ». 2011. № 6. С. 89-95.
7.     Мороз А.В., Вашурин Н.С., Попов И.И. и др. Фотонное эхо и зондовая микроскопия как методы исследования тонких пленок для микроэлектронных датчиков // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. 2012. № 2 (16). С. 64-73.

Для цитирования: Мороз А. В., Сушенцов Н. И., Степанов С. А., Михеева Е. В., Рыжова Е. А. Технологические особенности формирования резистивных плёнок на основе нержавеющей стали // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. 2016. № 2 (30). С. 84-89. DOI: 10.15350/2306-2819.2016.2.84